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通过式超声波清洗机
关键词:通过式超声波清洗机  发布日期:2013-03-14  来源:无锡华奥表面处理设备有限公司

随着超声波清洗设备的应用范围越来越广泛,各种经过不断完善和改进的新颖超声波清洗设备正在取代已面市的老式设备。
通过式超声波清洗技术是指采用频率28KHz的超声波进行清洗。清洗系统一般由喷淋系统、喷嘴旋转装置、磷化系统、自动温控加热系统、风切吹水系统等组成。对于某些特定的清洗对象,还配有热空气烘干、专用清洗架(篮)及清洗液的过滤循环系统。
通过式超声波清洗机的主要特点,一是避免了高光洁度物体的表面损伤;二是可除去附着在表面的亚微米大小的颗粒;三是浸入液体中,面向换能器的一面能被洗净,所以要进行两面清洗。
目前,国外市场上已有商用的通过式超声波清洗设备。美国Verteq、Imtec、ProSys公司已开发出这类设备用于半导体生产线上,在对300mm硅片的清洗中,可除去硅片表面上小到0.15μm的微小颗粒,而且可加快漂洗过程并有效地阻止粒子在硅片表面上重新附着。通过式超声波清洗是国外许多大规模集成电路制造厂家生产过程中不可缺少的标准设备。
该设备是超声波清洗工艺段,工件连续输送进入超声清洗区域,两边为超声波清洗机振盒,分别设置超声波功率2000W,工件从超声波区域的中间输送通过,在清洗液中受到两侧超声波的均匀轰击,进行精密清洗,在超声波的“空化”作用下,达到工件的清洗目的。

 
 

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